| 主权项 |
1.一种振动器,其包含:基质;可移动导引元件可滑动地装置于基质上;以及至少一个热致动器,其具有冲击头部以及锚定端部,锚定端部可旋转地装置于基质上在可移动导引元件外部以控制可移动导引元件移动,其藉由对冲击头部施加电热偏压以对可移动元件敲击。图式简单说明:第一图(图1)为本发明电热振动器之顶视图。第二图(图2)为本发明热致动器20之顶视图。第三图(图3)为本发明图1热致动器20移动顺序之顶视图。第四图(图4)为本发明图2热致动器20细槽形状冲击头40显微相片图。相片图显示出圆形化头部设计与致动器厚臂肢分离以更清楚地显示出驱动构件。第五图A(图5A)曲线图显示出以低频输入正弦交流电压之电流平方(12)与时间(t)关系。第五图B(图5B)曲线图显示出以高频输入正弦交流电压之电流平方(12)与时间(t)关系。第五图C(图5C)曲线图显示出交流+直流输入之电流与时间关系。第五图D(图5D)曲线图显示出交流+直流输入之电流平方(12)与时间(t)关系。第六图(图6)曲线图显示出量测系统驱动电流与频率关系,其依据两个操作模式6个热致动器范例。第七图(图7)为本发明具有整体电热振动器之光纤光学切换器扫瞄电子显微(SEM)相片图曲线图。第八图(图8)为本发明图1热致动器20移动顺序之顶视图,其显示出本发明以相同摆动圈之两个操作模式之详细情况。第九图(图9)为本发明图1之电热振动器10之透视图。 |
