微型操作方法

摘要

本发明系照射电子光束，将来自二次电子、反射电子或透过电子讯号来放大观察对象物之显微镜，提供一种将微小物体以良好再现性而达到所欲求之目的操作之微型操作方法。本发明之解决手段，系在电子显微镜之电子光束照射下使用微小操作器具操作微小物体之微型操作方法，其特征为：调整上述电子光束之加速电压与上述微小操作器具之电位与作业基板之电位，来进行藉由上述微小操作器具之上述微小物体之捕捉与脱离。

主权项

2.如申请专利范围第1项之微型操作方法,其中电子光束之加速电压与微小物体之大小关系,系上述电子光速在于透过上述微小物体之条件。3.如申请专利范围第1项或第2项之微型操作方法,其中上述作业基板,系使玻璃基板具导电性,在其上为了增加物体与基板之附着力施加高分子薄膜之涂层。4.如申请专利范围第1项或第2项之微型操作方法,其中上述作业基板,系在玻璃基板淀积属于透明导电性电极之ITO薄膜(氧化铟锡薄膜),在其上为了增加物体与基板之附着力浸渍涂层聚苯乙烯薄膜。图式简单说明:第1图系表示有效加速电压Va与二次电子释出比,透过型电子释出比关系图。第2图系表示关于数m以下之微小物体之电子释出比+与有效加速电压Va关系图。第3图系表示加速电压与微小物体之带电极性关系图。第4图系说明以在扫描型电子显微镜下所进行之光学实验为目的之微小球多层排列作业例之示图。