| 主权项 |
1.一种能被可见雷射固化之组成物,含有: (A)一种光固化树脂,具有在曝光时可交联或可聚合 之光敏感基, (B)一种敏感剂,选自包括如下通式(I)和(II)所代表 各化合物之组合: 其中X为 R1为1-4个碳原子之烷基,1-4个碳原子之烷氧基,2-5个 碳原子之烷氧羰基,-CnF2n+1(其中n为1-4之整数),在其 各烷基部份具有1-4个碳原子之二烷基胺基,Cl、Br 、-CN、-NO2或-SO2CH3; R2和R3各自独立而为1-4个碳原子之烷基,1-4个碳原 子之烷氧基,2-5个碳原子之烷氧羰基,在其各烷基 部份具有1-4个碳原子之二烷基胺基,Cl或Br;而R4.R5.R 6.R7.R8.R9和R10各自独立而为1-3个碳原子之烷基,和 (C)一种二茂络钛化合物,由如下通式(III)所代表 其中两个R11为各自独立之环戊二烯基,其为可以适 当选择取代以1-2个甲基者;而 R12和R13为各自独立而由下式所代表之基: 其中R14为一氟原子、-CF3或-CF2CH3;而R15.R16.R17和R18 为各自独立之氢原子、氟原子、-CF3.1-12个碳原子 之烷基、1-12个碳原子之烷氧基、6节碳环之芳香 基或5-或6-节杂环芳香基。2.如申请专利范围第1项 之组成物,其中在光固化树脂(A)中所含之光敏感基 为(甲基)丙烯醯基、肉桂醯基、丙基、叠氮基或 亚肉桂基。3.如申请专利范围第1项之组成物,其中 之光固化树脂(A)具有1,000-100,000之数平均分子量和 -20℃或以上之玻璃转移温度。4.如申请专利范围 第1项之组成物,其中之敏感剂(B)是由下式所代表 之化合物5.如申请专利范围第1项之组成物,其中所 含敏感剂(B)之量,以每100重量份(固体含量)之光固 化树脂(A)计,为0.1-10重量份。6.如申请专利范围第1 项之组成物,其中之二茂络钛化合物(C)为下式所代 表之化合物:7.如申请专利范围第1项之组成物,所 含二茂络钛化合物(C)之量,以每100重量份(固体含 量)之光固化树脂(A)计为0.1-10重量份。8.如申请专 利范围第1项之组成物,另含: (D)至少一种含氮化合物,选自包括如下通式(1)至(6) 所代表各化合物之组合: 其中Y为氢原子或羟基;而R21.R22和R23为各自独立之 氢原子、氯原子或1-6个碳原子之烷基, 其中R24和R25各自独立之氢原子或1-6个碳原子之烷 基, 其中R26.R27和R28为各自独立之氢原子、羟基或1-12 个碳原子之烷基, 其中R29.R30和R31为各自独立之氢原子、羟基、1-12 个碳原子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基, 其中R32为一氢原子、羟基、1-12个碳原子之烷基或 1-12个碳原子之烷氧基,和 其中R33和R34为各自独立之氢原子或1-12个碳原子之 烷基;而m为1-3之一整数。9.如申请专利范围第8项 之组成物,其中之含氮化合物(D)是选自通式(1)之苯 并三唑。10.如申请专利范围第8项之组成物,其中 之含氯化合物之量,以每100重量份(固体含量)之光 固化树脂(A)计,为0.01-20重量份。11.一种形成影像 之方法,包括涂覆申请专利范围第1项之可见雷射 能固化之化合物于一基质上,用可见雷射之方法, 使被曝光而促成可见雷射所能固化之膜,并予显像 。12.一种光阻图纹,其为用申请专利范围第11项之 方法所形成者。 |
