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发明名称 Højfølsom detektering af coatingfjernelse fra lyslederaktivitet
摘要
申请公布号 DK0795118(T3) 申请公布日期 2002.02.11
申请号 DK19950944597T 申请日期 1995.11.22
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 DUNPHY, JAMES, R.;RYAN, JAMES, J.
分类号 C23C14/14;C23C14/24;G01D5/353;G01M11/00;G01M11/08;G01N17/00;G01N21/45;G02F1/21;(IPC1-7):G01D5/353 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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