| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE D'INTERCONNEXIONS COMPRENANT UNE ISOLATION ELECTRIQUE INCLUANT DES CAVITES D'AIR OU DE VIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2803438(B1) |
申请公布日期 |
2002.02.08 |
| 申请号 |
FR19990016637 |
申请日期 |
1999.12.29 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DEMOLLIENS OLIVIER;BERRUYER PASCALE;TROUILLET YORICK;MORAND YVES |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/30;H01L23/48 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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