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经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR WASHING BY FLUID SPRAYING
摘要
申请公布号
KR20020011438(A)
申请公布日期
2002.02.08
申请号
KR1020017015931
申请日期
2001.12.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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