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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROSTATICALLY SHIELDING AN INDUCTIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCE AND FACILITATING IGNITION OF A PLASMA
摘要
申请公布号 KR20020011129(A) 申请公布日期 2002.02.07
申请号 KR1020017010541 申请日期 2001.08.18
申请人 发明人
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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