| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un système de microscopie optique interférométrique servant à représenter un objet, ledit système comprenant: un réseau de masques à faisceau de mesure présentant un réseau de paires d'ouvertures disposées pour recevoir le rayonnement émis de l'objet en réponse à un faisceau de mesure, le rayonnement émanant du réseau de paires d'ouvertures définissant un faisceau de retour de mesure; un réseau de sources de faisceau de référence disposé pour recevoir un faisceau de référence, le réseau de sources de faisceau de référence comprenant un réseau d'éléments étant chacun conçus pour émettre une partie du faisceau de référence, les parties de faisceau de référence émises définissant un faisceau de retour de référence; et des optiques d'imagerie disposées pour diriger les faisceaux de retour de mesure et de référence sur le photo-détecteur et conçues pour produire des images conjuguées qui se recouvrent du réseau d'éléments de référence et du réseau de paires d'ouvertures. Selon l'invention, l'image conjuguée de chaque paires d'ouvertures se recouvre avec l'image conjuguée d'un élément de référence correspondant, les optiques d'imagerie comprennent un réseau de sténopés disposé dans le plan d'image conjuguée, les sténopés du réseau de sténopés étant chacun alignés avec une image de paire d'ouverture correspondante, et les faisceaux de mesure et de référence sont issus d'une source commune.</p> |
