CONTROL VENT SYSTEM FOR ULTRA-HIGH PURITY DELIVERY SYSTEM FOR LIQUEFIED COMPRESSED GASES

摘要

본 발명은 비극저온 액체 생성물을 포함하는 저장 용기에서 전달된 초고순도 기상 생성물 중에 존재하는 휘발성 불순물을 감소시키는 조절 배기 시스템 및 상기 저장 용기로부터 상기 생성물을 전달하는 방법과 시스템에 관한 것이다. 조절 배기 시스템은 저장 용기에 부착된 배기관로와 이 배기관로 중의 응축기를 포함한다. 냉각 유닛과 같은 냉각제 공급원과 응축기 사이에는 냉매(예를 들어, 냉각제)가 이동된다. 휘발성 불순물을 감소시키는 방법은 3 단계를 포함한다. 제1 단계는 기상 증기의 일부를 기상 증기 공간에서 응축기로 배기시키는 것이다. 제2 단계는 응축기 중에 존재하는 배기된 기상 증기를 액체 생성물의 비점보다는 낮고 휘발성 불순물의 비점보다는 높은 온도로 냉각시키는 것이다. 그 결과, 배기된 기상 증기의 제1 부분은 응축되고 제2 부분은 응축되지 않는다. 마지막 단계는 배기된 기상 증기의 제2 부분을 응축기로부터 배기시키는 것이다.