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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen reaktiver Gase
摘要
申请公布号 DE19510827(C2) 申请公布日期 2002.02.07
申请号 DE19951010827 申请日期 1995.03.24
申请人 CELSIS GESELLSCHAFT ZUR ANWENDUNG DER MIKROELEKTRONIK MBH 发明人 FIEBIG, BIRGIT;GEISLER, ULRICH
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;C23F4/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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