| 发明名称 |
MOBILE HOLDER FOR A WAFER |
| 摘要 |
Ein mobiler Halter für einen Wafer ist geschaffen, der ein Basiselement (1), eine erste Befestigungseinrichtung (3, 4, 5) und eine zweite Befestigungseinrichtung aufweist. Die erste Befestigungseinrichtung (3, 4, 5) ist ausgebildet, um ein Anbringen des Wafers an dem Basiselement (1) zu ermöglichen. Die zweite Befestigungseinrichtung ist ausgebildet, um den mobilen Halter an einem Träger für den mobilen Halter anzubringen.
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| 申请公布号 |
WO0211184(A1) |
申请公布日期 |
2002.02.07 |
| 申请号 |
WO2001EP08822 |
申请日期 |
2001.07.30 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.;LANDESBERGER, CHRISTOF;BLEIER, MARTIN;KLUMPP, ARMIN |
发明人 |
LANDESBERGER, CHRISTOF;BLEIER, MARTIN;KLUMPP, ARMIN |
| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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