发明名称 |
Halbleiteranordnung mit dielektrischer Isolationsstruktur für integrierte Schaltung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69331408(D1) |
申请公布日期 |
2002.02.07 |
申请号 |
DE1993631408 |
申请日期 |
1993.10.28 |
申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
SAKURAI, NAOKI;SUGAWARA, YOSHITAKA |
分类号 |
H01L21/762;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/861;H02P6/08;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/74 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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