发明名称 Halbleiteranordnung mit dielektrischer Isolationsstruktur für integrierte Schaltung
摘要
申请公布号 DE69331408(D1) 申请公布日期 2002.02.07
申请号 DE1993631408 申请日期 1993.10.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SAKURAI, NAOKI;SUGAWARA, YOSHITAKA
分类号 H01L21/762;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/861;H02P6/08;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/74 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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