摘要 |
<p>Eine für das Einfangen von Ladungsträgern über dem Source-Bereich (6a) und dem Drain-Bereich (6b) vorgesehene Speicherschicht (3) ist über dem Kanal unterbrochen, so dass ein Diffundieren der Ladungsträger, die über dem Source-Bereich und über dem Drain-Bereich eingefangen sind, verhindert ist. Die Speicherschicht ist auf Bereiche über den dem Kanal zugewandten Anteilen des Source-Bereiches und des Drain-Bereiches begrenzt und rings in Oxid eingebettet.</p> |