| 发明名称 |
Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10017010(C2) |
申请公布日期 |
2002.02.07 |
| 申请号 |
DE20001017010 |
申请日期 |
2000.04.05 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
RODEWALDT, THOMAS;WEHRLE, FELIX |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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