| 发明名称 | 压电元件的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种压电元件的制造方法,该方法在不对压电材料基板的共振特性产生不利影响的情况下,可形成具有较高平面度和平行度的压电材料基板。该方法包括:在增强板的表面上形成凹部的工序;通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部,将所述增强板和压电材料基板接合的工序。由此,按照规定强度将增强板和压电材料基板接合。另外,通过对借助所述粘接剂接合于增强板上的压电材料基板进行研磨,形成具有较高平行度和平面度的压电材料基板。另外,由于可通过有机溶剂等,将粘接剂层溶解,故可在不对压电材料基板施加物理力的情况下,剥离掉增强板。由此,有效地防止压电材料基板的共振特性发生变化。 | ||
| 申请公布号 | CN1334608A | 申请公布日期 | 2002.02.06 |
| 申请号 | CN01120620.9 | 申请日期 | 2001.07.17 |
| 申请人 | 住友特殊金属株式会社 | 发明人 | 杉园敦之;村上信治 |
| 分类号 | H01L41/22;H03H3/02 | 主分类号 | H01L41/22 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种压电元件的制造方法，该方法包括：在增强板的表面上形成凹部的工序；通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部，将所述增强板和由压电材料制成的基板接合的工序。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||