| 发明名称 |
INSPECTION SYSTEMS PERFORMING TWO-DIMENSIONAL IMAGING WITH LINE LIGHT SPOTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1177428(A1) |
申请公布日期 |
2002.02.06 |
| 申请号 |
EP20000937539 |
申请日期 |
2000.05.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
REINHRON, SILVIU;ALMOGY, GILAD |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G03F1/08;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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