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发明名称 A capacitor using a tantalum nitride dielectric
摘要
申请公布号 GB2364825(A) 申请公布日期 2002.02.06
申请号 GB20000031318 申请日期 2000.12.21
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 KEE JEUNG * LEE;HONG SEON * YANG
分类号 C23C16/40;H01L21/02;H01L21/318;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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