| 发明名称 |
RETICLE FOR USE IN PHOTOLITHOGRAPHY AND METHODS FOR MAKING SAME AND INSPECTING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1177429(A2) |
申请公布日期 |
2002.02.06 |
| 申请号 |
EP20000986467 |
申请日期 |
2000.12.15 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
MCMULLEN, THOMAS, F. |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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