COATINGS ON REFLECTIVE MASK SUBSTRATES,申请号KR1020017014245-传众专利搜索

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发明名称	COATINGS ON REFLECTIVE MASK SUBSTRATES
摘要
申请公布号	KR20020010912(A)	申请公布日期	2002.02.06
申请号	KR1020017014245	申请日期	2001.11.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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