发明名称 掺氮贝他钽之沈积方式
摘要
申请公布号 TW012606 申请公布日期 1973.05.01
申请号 TW06210022 申请日期 1973.01.08
申请人 西方电器公司 日本国长野县须?巿大字小河原字松川4062番2号 发明人 HENRY YASUO KUMAGAI
分类号 B01D 主分类号 B01D
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
地址 日本国长野县须巿大字小河原字松川4062番2号