| 发明名称 |
Transistor gate insulator layer incorporating superfine ceramic particles |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU3650701(A) |
申请公布日期 |
2002.02.05 |
| 申请号 |
AU20010036507 |
申请日期 |
2001.01.22 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY |
发明人 |
TZU-CHEN LEE;NELSON B. O'BRYAN |
| 分类号 |
H01L21/312;H01L21/316;H01L29/51;H01L29/76;H01L29/768;H01L29/786;H01L29/94;H01L31/062;H01L31/113;H01L31/119;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
