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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20020010675(A) 申请公布日期 2002.02.04
申请号 KR1020017015205 申请日期 2001.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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