CVD TANTALUM NITRIDE PLUG FORMATION FROM TANTALUM HALIDE PRECURSORS,申请号KR1020017013565-传众专利搜索

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发明名称	CVD TANTALUM NITRIDE PLUG FORMATION FROM TANTALUM HALIDE PRECURSORS
摘要
申请公布号	KR20020010612(A)	申请公布日期	2002.02.04
申请号	KR1020017013565	申请日期	2001.10.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
地址

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