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发明名称
摘要
申请公布号 JP3253770(B2) 申请公布日期 2002.02.04
申请号 JP19930197550 申请日期 1993.08.09
申请人 发明人
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28;G01R31/318 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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