主权项 |
1.一种用来将从液化状态传送气体之系统,此系统包括:(a)具有一第一和第二控制面板配置其中的一种气体柜;(b)对应至配置于该气体柜中的各个上述控制面板之至少一个被压缩的液化气体贮气瓶;(c)配置于每一个上述贮气瓶上的温度和/或压力感测器;与(d)一控制器,用来根据由该温度和/或压力感测器所感测的在每一贮气瓶中的温度和/或压力,监控和调整输入至每一贮气瓶的能量输入。2.如申请专利范围第1项之传送气体之系统,其中,上述的控制器更包括:(e)用来程式化配置在个别的上述控制面板上的该被压缩的液化气体贮气瓶的一低和一高设定温度点之机构;与(f)当达到在上述至少一个被压缩的液化气体贮气瓶中的一低温设定点或一高温设定点,用来在该第一和第二控制面板之间切换之机构。3.一种用来从一液化状态从一气体柜传送气体之方法,且系以连续流量被控制的方式来传送气体,该方法包括:(a)提供具有第一和第二控制面板配置其中的一种气体柜;(b)从至少一个与上述的第一和第二控制面板之一相关联的气体贮气瓶,供应一被压缩的液化气体;及(c)传送一控制数量之能量至与该第一和第二控制面板之一相关联的上述气体贮气瓶,因而增加气体从该贮气瓶中释出的流速。4.如申请专利范围第3项所述之方法,更包含:(d)根据被使用的气体,设定该气体贮气瓶可接受的一高和一低温点。5.如申请专利范围第4项所述之方法,更包含:供应能量至与前述的第一和第二控制面板之一相关联的上述气体贮气瓶,以达到一低温设定点。6.如申请专利范围第5项所述之方法,更包含:在该第一和第二控制面板之间交替上述的能量供应,其中,该被供应的能量是在上述贮气瓶中的温度之函数。7.如申请专利范围第6项所述之方法,更包含:当该低温设定点警报器被启动时,供应能量至与第一或第二控制面板相关联的气体贮气瓶。8.如申请专利范围第6项所述之方法,更包含:当该高温设定点警报器被启动时,终止供应能量至与第一或第二控制面板相关联的气体贮气瓶。9.如申请专利范围第3项所述之方法,其中,上述的气体温度是由前述的贮气瓶压力推衍得来的。10.如申请专利范围第3项所述之方法,以X因数增加该气体的供应量,其中,X为该被压缩的液化气体贮气瓶的数目。11.如申请专利范围第3项所述之方法,其中,该气体是从包含如下的气体群组所选出的:氨、三氯化硼、二氧化碳、氯矽甲烷、溴化氢、氯化氢、氟化氢、氧化亚氮、全氟丙烷、六氟化硫和六氟化钨。12.如申请专利范围第3项所述之方法,更包含:减少上述的贮气瓶压力的回复时间。13.如申请专利范围第3项所述之方法,其中,对任何一种所采用的系统,每一种上述的贮气瓶包含相同的电子特性。图式简单说明:图1为根据本发明的一种气体柜系统之概图;图2为阐述一氯化氢酸气体恢复至贮气瓶规格的压力之压力恢复时间图。 |