| 发明名称 |
USO DI ADDITIVI FLUORURATI NELL'ETCHING O POLISHING DI CIRCUITI INTEGRATI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI20020178(D0) |
申请公布日期 |
2002.02.01 |
| 申请号 |
IT2002MI00178 |
申请日期 |
2002.02.01 |
| 申请人 |
AUSIMONT S.P.A. |
发明人 |
CHITTOFRATI ALBA;VISCA MARIO;D'APRILE FIORENZA |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/08;C11D1/00;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321;H01L21/3213 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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