Gas sensor

摘要

Sensor de gases, constituido por un sustrato de silicio (1) que incluye una zona (2) micromecanizada sobre la que va dispuesta una resistencia calefactora (4), ocluida en una sustancia dieléctrica (3) sobre la que va dispuesta una capa de óxido metálico semiconductor (6), que embebe elementos catalizadores (7). Estos elementos catalizadores presentan una disposición en capas y están embebidos dentro del volumen del óxido metálico semiconductor de forma no homogénea.