发明名称 TRANSISTOR BIPOLAIRE RAPIDE
摘要 <P>L'invention concerne un proc ed e de formation de la zone de collecteur d'un transistor bipolaire sur un substrat semiconducteur (11), comportant les etapes suivantes :a) former une tranch ee isolante (12) d elimitant une r egion active (14),b) graver s electivement le mat eriau semiconducteur de la r egion active,c) r ealiser une epitaxie s elective du mat eriau semi-conducteur, etd) r ealiser, au cours de l' etape c), un dopage du mat eriau epitaxi e (18), ce dopage etant modifi e au cours de la croissance de mat eriau epitaxi e.</P>
申请公布号 FR2812452(A1) 申请公布日期 2002.02.01
申请号 FR20000009947 申请日期 2000.07.28
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 SCHWARTZMANN THIERRY
分类号 H01L21/331;H01L29/08;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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