PROCESADOR DE PLASMA PARA GRANDES PIEZAS.

摘要

UN PROCESADOR DE PLASMA PARA PIEZAS A MAQUINA GRANDES INCLUYE UNA CAMARA DE VACIO QUE TIENE VENTANAS DIELECTRICAS INDIVIDUALMENTE SOPORTADAS PLURALES PARA ACOPLAR UN CAMPO R.F. QUE SE ORIGINA FUERA DE LA CAMARA DENTRO DE LA CAMARA PARA EXCITAR EL PLASMA. UNA BOBINA PLANAR PARA DERIVAR INDUCTIVAMENTE EL CAMPO TIENE SEGMENTOS PLURALES CON LA MISMA LONGITUD ELECTRICA, CADA UNO INCLUYENDO UN ELEMENTO CONECTADO EN PARALELO CON UN ELEMENTO DE OTRO SEGMENTO.