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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN VON BESCHICHTUNGEN AUF SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE2251571(A1) 申请公布日期 1973.05.03
申请号 DE19722251571 申请日期 1972.10.20
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX. (V.ST.A.) 发明人 REINBERG, ALAN RICHARD, DALLAS, TEX. (V.ST.A.)
分类号 C23C14/34;C23C14/24;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;C30B25/08;C30B25/14;G03F1/00;G03F1/08;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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