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发明名称
Heterodyn Interferometer mit hochauflösender Phasenbestimmung
摘要
申请公布号
DE69709413(D1)
申请公布日期
2002.01.31
申请号
DE1997609413
申请日期
1997.07.23
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO
发明人
SAKUMA, HIROKAZU;OKAMURO, TAKASHI;SATO, YOSHIMITSU;NAKASHIMA, TOSHIRO;NAKAJIMA, HAJIME
分类号
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/00
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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