发明名称 Heterodyn Interferometer mit hochauflösender Phasenbestimmung
摘要
申请公布号 DE69709413(D1) 申请公布日期 2002.01.31
申请号 DE1997609413 申请日期 1997.07.23
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 SAKUMA, HIROKAZU;OKAMURO, TAKASHI;SATO, YOSHIMITSU;NAKASHIMA, TOSHIRO;NAKAJIMA, HAJIME
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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