| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Dampferzeugung und Schichtaufbringung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19882473(T1) |
申请公布日期 |
2002.01.31 |
| 申请号 |
DE19981082473T |
申请日期 |
1998.06.01 |
| 申请人 |
MSP CORP., MINNEAPOLIS |
发明人 |
SUN, JAMES J.;LIU, BENJAMIN Y.H. |
| 分类号 |
B01J4/00;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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