发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit Isolationszonen in einem Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号 DE69232038(T2) 申请公布日期 2002.01.31
申请号 DE1992632038T 申请日期 1992.02.28
申请人 NCR INTERNATIONAL, INC.;HYUNDAI ELECTRONICS AMERICA, MILPITAS;SYMBIOS, INC. 发明人 LEE, STEVEN S.
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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