| 发明名称 |
An improved method for depositing and planarizing fluorinated BPSG films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1033747(A3) |
申请公布日期 |
2002.01.30 |
| 申请号 |
EP20000301459 |
申请日期 |
2000.02.24 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
XIA, LI-QUN;CAMPANA, FRANCIMAR;YIEH, ELLIE |
| 分类号 |
H01L23/522;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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