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经营范围
发明名称
High density plasma deposition and etching apparatus
摘要
申请公布号
EP0403418(B1)
申请公布日期
2002.01.30
申请号
EP19900610041
申请日期
1990.06.12
申请人
TRIKON TECHNOLOGIES, INC.
发明人
CAMPBELL, GREGOR;CONN, ROBERT W.;SHOJI, TATSUO
分类号
C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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