| 发明名称 | 干表面处理装置及其处理方法 | ||
| 摘要 | 一种干表面处理装置,包括位于处理室内的表面处理材料供料器和有多孔外壁的、用于装入工件的管筒,在该水平设置的管筒绕水平转动轴线转动的同时对工件的表面进行处理,其中上述管筒具有阻止装入的工件由于管筒的转动而沿管筒内壁滑动的防滑件。按照本发明的干表面处理装置可对工件相对的两个表面形成均匀的沉积膜或进行均匀的表面处理。 | ||
| 申请公布号 | CN1333386A | 申请公布日期 | 2002.01.30 |
| 申请号 | CN01122484.3 | 申请日期 | 2001.07.13 |
| 申请人 | 住友特殊金属株式会社 | 发明人 | 西内武司;嶋本育夫;三角信弘;栃下佳已 |
| 分类号 | C23C14/24;B24C3/28 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 郑修哲 |
| 主权项 | 1.一种干表面处理装置，它具有一个设置在处理室内的表面处理材料供料器和一个具有多孔外壁的、用于装入工件的管筒，在该水平设置的管筒绕水平转动轴线转动的同时，对工件的表面进行处理，其中，上述管筒具有一种防滑件，用于阻止装入的工件由于上述管筒的转动而沿上述管筒的内壁滑动。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||