微型液芯集成光波导结构及其制造方法

摘要

微型液芯集成光波导结构及其制造方法主要包括:平面衬底、液芯光波导线,液芯光波导线主要包括:上层包层、下层包层、液体光波导介质和中空微通道,平面衬底上设置液芯光波导线,在下层包层和上层包层之间设有中空微通道,中空微通道内为液体光波导介质。具体的制作工艺为:在单晶硅平面衬底上通过热氧化或溅射的工艺获得二氧化硅作为下层包层,通过光刻和电镀的方法得到铜微线条,在铜微线条上用化学气相沉积法或溅射工艺获得二氧化硅作为上层包层,通过化学腐蚀,将铜微线条除去,则得到中空微通道,在中空微通道内引入液体光波导介质,即制成微型液芯集成光波导线。

主权项

1、一种微型液芯集成光波导结构，主要包括：平面衬底(1)、液体光波导介质(5)，其特征在于液芯光波导线(2)，液芯光波导线(2)主要包括：上层包层(3)、下层包层(4)、液体光波导介质(5)和中空微通道(6)，平面衬底(1)上设置液芯光波导线(2)，在下层包层(4)和上层包层(3)之间设有中空微通道(6)，中空微通道(6)内为液体光波导介质(5)。