| 发明名称 |
UV-SUPPORTED ACTIVATION OF A DOPING AGENT IN COMPOUND SEMICONDUCTORS BY MEANS OF RTP SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1175698(A1) |
申请公布日期 |
2002.01.30 |
| 申请号 |
EP20000929412 |
申请日期 |
2000.04.22 |
| 申请人 |
STEAG RTP SYSTEMS GMBH |
发明人 |
DRECHSLER, MARTIN;PELZMANN, ARTHUR |
| 分类号 |
H01L33/00;H01L21/205;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/477 |
主分类号 |
H01L33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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