| 摘要 |
<p>L'invention porte sur le dépôt de carbone et de matériaux à base de carbone pour produire des films de carbone sur ou des films à base de carbone. Les procédés actuels recourent à des systèmes de dépôt chimique en phase vapeur et d'arcs filtrés qui tous deux posent des problèmes. Par contre l'invention porte sur un procédé et un appareil utilisant un système d'arc dont l'anode et la cathode sont toutes deux en graphite, l'anode servant à produire le carbone ou le matériau précurseur du film à base de carbone. Pour contrôler la qualité et la vitesse de dépôt du matériau précurseur sur le substrat, on agit sur la surface de fixation de l'arc à l'anode, dont la réduction peut accroître la vitesse de dépôt.</p> |
