Molybdenum silicide based heater which has the glassy surface layer with low oxygen diffusivity

摘要

내(耐) 패이스트성(性)이 우수하고, 또한, 장기간 성능이 열화(劣化)하지 않은 MoSi₂를 주체로 하는 발열재료를 제공하는 것. 유리질 피막중의 삼차원 망목(網目)구조의 간극을 확대하여 내 산화성 저하를 초래하는 부적합 성분의 함유량을 감소한다. 기재중(基材中)에 함유되는 A1, Ca, Mg, Na의 함유량을 각각 300중량ppm이하, 바람직하게는 100중량ppm 이하로 함에 의하여, 형성되는 유리질 피막을 저 산소 확산성으로 한다.