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发明名称 Verfahren zum Zerteilen eines Halbleiterstabes
摘要
申请公布号 DE10014445(C2) 申请公布日期 2002.01.24
申请号 DE20001014445 申请日期 2000.03.23
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 SCHNEGG, ANTON;RURLAENDER, ROBERT E.
分类号 B28D5/00;B28D5/02;B28D5/04;(IPC1-7):H01L21/306;B26F3/00;H01L21/304 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
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