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发明名称 Halbleiter-Drucksensor
摘要
申请公布号 DE19833234(C2) 申请公布日期 2002.01.24
申请号 DE19981033234 申请日期 1998.07.23
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ICHIHASHI, MOTOMI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00;G01L9/06 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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