| 发明名称 |
Verfahren zur Abscheidung aus der Gasphase von einem Fluorid-Glasfilm auf einem Substrat |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69331300(D1) |
申请公布日期 |
2002.01.24 |
| 申请号 |
DE1993631300 |
申请日期 |
1993.09.15 |
| 申请人 |
ALCATEL, PARIS |
发明人 |
JACOBONI, CHARLES;BOULARD, BRIGITTE;PERROT, OLIVIER |
| 分类号 |
C23C14/06;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/018;C03C3/32;C23C14/10;(IPC1-7):C03C3/32;C03C17/02;C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
