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发明名称 Verfahren zur Reduzierung der Kontaminierungspartikel in Plasmakammern
摘要
申请公布号 DE69708996(D1) 申请公布日期 2002.01.24
申请号 DE1997608996 申请日期 1997.07.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LAXMAN, MURUGESH;TURGUT, SAHIN;PRAVIN, NARWANKAR;KENT, ROSSMANN
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/517;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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