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发明名称
Verfahren zur Herstellung Silicium Einkristall mit geringen Fehlstellen und dadurch hergestellte Silicium Einkristall und Silicium Scheiben
摘要
申请公布号
DE69802887(D1)
申请公布日期
2002.01.24
申请号
DE19986002887
申请日期
1998.10.01
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
发明人
IIDA, MAKOTO;IINO, EIICHI;KIMURA, MASANORI;MURAOKA, SHOZO
分类号
C30B15/20;C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/00
主分类号
C30B15/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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