具有三个蚀刻深度的双蚀刻台阶垫空气轴承结构

摘要

一种具有减小的掩模不对准性灵敏度的空气轴承滑块。在一个实施例中，该空气轴承滑块具有由双蚀刻过程形成的三个蚀刻面。前导和后继台阶区由第一蚀刻步骤形成。靠近空气轴承垫的侧台阶区由第二蚀刻步骤形成。负压区由第一和第二蚀刻步骤两者形成。$#!

主权项

1.用于支撑传感器的空气轴承滑块，包括：由至少一个前导垫和至少一个后继垫形成的一个空气轴承面；一个具有一条前导边和一条后继边的滑块体；一个基本上靠近滑块体前导边的前导台阶区，该前导台阶区具有第一蚀刻深度，至少一个前导垫形成于前导台阶区上；一个基本上靠近滑块体后继边的后继台阶区，该后继台阶区具有第一蚀刻深度，至少一个后继垫形成于后继台阶区上；至少两个位于后继和前导台阶区两者之外并具有第二蚀刻深度的侧台阶区；以及一个具有第三蚀刻深度的负压区，其中第三蚀刻深度等于第一和第二蚀刻深度的和。