等离子体真空泵

摘要

用于将离子从第一区域泵送到第二区域的等离子体泵和方法,该泵包括:一分隔件,该分隔件有限定了多个管道(30)的通孔;一组磁体(24),以便提供延伸到管道的磁力;以及多个电势源(14),该电势源(14)用于产生使离子从管道向第二区域加速的静电场。

主权项

1.一种等离子体泵，用于当所述等离子体泵插入第一区域和第二区域之间时将离子从包含等离子体的第一区域泵送到第二区域，所述等离子体泵包括：一分隔件，该分隔件位于第一区域和第二区域之间，所述分隔件限定了多个在第一和第二区域之间的管道；一自由电子源，该自由电子源与所述管道连通；多组磁体，所述每组磁体都相对于所述管道中的相应一个而定位成使磁力线穿过所述相应一个管道延伸；以及多个电势源，每个所述电势源都相对于所述管道中的相应一个而布置，以便产生使离子从所述相应一个管道向第二区域加速的静电场；其中，各所述管道与相应的磁体组和相应的电势源一起形成多个泵送单元中的一个。