一种用辉光放电表面处理中等离子体探针诊断的装置

摘要

本发明涉及采用辉光放电表面处理中等离子体的探针诊断的装置。该装置由不锈钢管套在陶瓷管外,弹簧支撑在不锈钢管和陶瓷管之间,陶瓷管内穿进探针导线,探针头一端与导线焊接,另一端穿出陶瓷管、不锈钢管的前端的小孔的探针,探针伸入在源极和阴极之间的放电等离子体区域中,支撑体的一端固定在真空室壁上,另一端用旋盖固定连接空心推杆,从陶瓷管内穿出的探针导线穿进推杆并穿出,再通过探针电源和伏安特性曲线记录仪连接。

主权项

1一种采用辉光放电表面处理中等离子体的探针诊断的装置，包括在真空室中安置一探针结构，工件阴极为直流电源，它与工件连接，阳极与真空室壁连接接地。合金源极电源与工件阴极连接，阳极与真空室壁连接接地。探针电源分别与探针、真空室壁和记录仪相连接，其特征在于：探针结构由一屏蔽作用的不锈钢套管套在陶瓷管外，弹簧支撑在不锈钢套管和陶瓷管之间，在不锈钢管前端密封焊合，并留有一小孔，陶瓷管内穿进探针导线，探针头与导线焊接，探针头的另一端穿出绝缘陶瓷管和不锈钢套管的前端的小孔，一支撑体位于室壁上，探针部分伸入在源极和阴极之间的放电等离子体区域中，具有动密封的可移动的支撑体可以是一根波纹管；支撑体的一端固定在真空室壁上，其另一端用一旋盖固定连接一空心结构的推杆，从陶瓷管内穿出的探针导线穿进空心结构的推杆，从推杆穿出的导线通过探针电源和伏安特性曲线记录仪连接；探针电源分别与探针、真空室壁和记录仪相连接，即可进行等离子体参数的诊断。