| 发明名称 | 具有装在一条公共旋转轴线上的多臂的基片传送装置 | ||
| 摘要 | 一种基片传送装置B具有:一个驱动部(24)、两个连接到驱动部的公共旋转轴线D上的、可单独活动的臂组合件(66、68)、和连接到臂组合件上的基片夹持器(38、39)。驱动部包括三个同心的驱动轴(50a、50b、50c)和一个连接到其中一个轴上的带轮。两个臂组合件被连接到另外两个轴上。 | ||
| 申请公布号 | CN1332667A | 申请公布日期 | 2002.01.23 |
| 申请号 | CN99815293.5 | 申请日期 | 1999.11.23 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | C·A·霍夫梅斯特 |
| 分类号 | B25J18/00;B25J18/02;B25J9/06 | 主分类号 | B25J18/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 周备麟;章社杲 |
| 主权项 | 1.一种基片传送装置具有：一个驱动部；两个连接到在一条公共旋转轴线上的该驱动部的可单独活动的臂组合件；及连接到臂组合件上的基片夹持器。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||