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发明名称 DEVICE FOR TREATING WAFERS
摘要
申请公布号 EP1173882(A2) 申请公布日期 2002.01.23
申请号 EP20000929255 申请日期 2000.03.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HEINEMANN, BERNHARD
分类号 H01L21/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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